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RPS Overhaul
X-stream RPS Repair
| Part No | Description | Model No | Type | Maker |
|---|---|---|---|---|
RPS_XSTREAM | 3151806-202F | Advanced Energy |
| 规格 | |
|---|---|
RF Frequency | 225KHz 至 667KHz |
Power Accuracy | 设定点的 ±5% 或 ±200W，以较大者为准（在 1.2 欧姆等效等离子体阻抗下测量） |
Operational load Limits | 运行负荷需在运行限制范围内 |
Minimum plasma power | 1000 W |
Maximum plasma power | 8000 W |
Maximum Plasma voltage | 145 Vrms |
Maximum power supply current | 107 Arms |
Electrical Efficiency | 优于80%@满额定功率的nominal line |
Power Factor | Better than 0.90 |
Zero Setpoint | 当设定值为零或负值或联锁不满足时，数字和显示 |
Duty Cycle | 在规定工作范围内连续运行 |
MKS PARAGON RPS Repair
| Part No | Description | Model No | Type | Maker |
|---|---|---|---|---|
MKS_PARAGON_RPS | AX7710IPS-30 | RPS | MKS |
| 规格 | |
|---|---|
RF Frequency | 400 KHz |
GAS Supply | Ignition：100% Ar Process：NF3 可达 6SLM（Ignition后可添加 NF3 并去除 Ar） |
Ignition and Operating Conditions | During Ignition：对于Ar，压力为 1 至 8 Torr @ 1 至 5 slm（在 ASTRON 出口处测量的压力） Post Ignition：Ignition后1 至 10 Torr 1 至 6 slm（在 ASTRON 出口测量的压力） |
Reactant Output (NF3 Operation) | Reactant Output (NF3 Operation)操作空间内解离率 >95%，1-10T，1-6 slm（在 ASTRON 出口测量的压力） |
Duty Cycle | 开启后最快2sec即可达到100% |
Wetted Materials | PEO 涂层、6061-T6 铝、Chemraz®、氧化铝 |
Control Interface | EtherCAT，光电隔离 I/O 25 pin D connector，光电隔离 I/O |
Utilities | 电源 180 至 228 VAC，50/60 Hz，35A，3 相（建议使用 50A 服务） Cooling water 2.0 gpm, < 30°C 环境温度** 40°C |