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LDS不断供化学品供应系统
LCSS
| Item | Description |
|---|---|
| 型号 | LCSS-200HD |
| 补给方式 | Bulk to Process |
| 设备尺寸 | 600(长) x 870(宽) x 2,100(高) |
| 供液管路 | 最多4支(出) |
| 余量监控 | 磅秤、液位传感器 |
| 支持气体 | TiCl4, TDMAT, BPSG, OMCTS, DEMS, 4MS, 2NTE, Cyclohexane, MDEOS, ATRP, AM31,DiPAS |
| 存储容量 | 19L, 5GALLON (Bulk 19L, Process 19L) / 14L, 3.7GALLON (Bulk 14L, Process 14L) |
BCSS
| Item | Description |
|---|---|
| 型号 | BCSS II 200L |
| 补给方式 | Bulk Slave自动向Bulk Master补液 |
| 设备尺寸 | 900(长) x 1,070(宽) x 2,380(高) |
| 供液管路 | 最多9支（出） |
| 余量监控 | 磅秤、液位传感器 |
| 支持气体 | TEOS、TEB、TEPO等 |
| 存储容量 | 200L |
TCSS
| Item | Description |
|---|---|
| 型号 | TCSS-300H |
| 补给方式 | Refill from BCSS to TCSS Bulk to Process |
| 设备尺寸 | 1200(长) x 880(宽) x 2,250(高) |
| 供液管路 | 3~12支（出） |
| 余量监控 | 磅秤、液位传感器 |
| 支持气体 | TEOS、TEB、TEPO等 |
| 存储容量 | 14L、3.7GALLON (Bulk 14L, Process 14L) |